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日本2ω法納米薄膜導(dǎo)熱儀TCN-2ω
更新日期：2024-05-14
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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址：
日本2ω法納米薄膜導(dǎo)熱儀TCN-2ω
該裝置是目前世界上唯yi使用2ω法測(cè)量納米薄膜厚度方向熱導(dǎo)率的商用裝置。與其他方法相比，樣品制作和測(cè)量更容易。
用
量化低K絕緣膜的熱阻，用于半導(dǎo)體器件的熱設(shè)計(jì)
絕緣膜的開(kāi)發(fā)與散熱的改善
熱電薄膜應(yīng)用評(píng)價(jià)
特征
可以測(cè)量在厚度方向上形成在基板上的 20 到 1000 nm 的薄膜的熱導(dǎo)率。
使用熱反射法通過(guò)溫度幅度檢測(cè)實(shí)現(xiàn)測(cè)量
測(cè)量樣品的簡(jiǎn)單預(yù)處理
規(guī)格
| 測(cè)量溫度 | 轉(zhuǎn)播時(shí)間 |
|---|---|
| 樣品尺寸 | 寬度 10 毫米 x 長(zhǎng)度 10 至 20 毫米 x 厚度 0.3 至 1 毫米（板） |
| 測(cè)量氣氛 | 在真空中 |
測(cè)量原理
論文“絕熱邊界條件下2ω法評(píng)估薄板樣品的熱導(dǎo)率"
當(dāng)以 f/Hz 的頻率加熱金屬薄膜時(shí)，加熱量以 2 f/Hz 的頻率變化。
金屬薄膜(0)-薄膜(1)-襯底(s)三層體系中金屬薄膜表面的溫度變化T(0)在熱擴(kuò)散條件下是一維的充分通過(guò)金屬薄膜/薄膜，下面的公式用于表示傳熱模型的解析解。
(Λ: 導(dǎo)熱系數(shù) W m -1 K -1 , C: 體積比熱容 JK -1 m -3 , q: 每體積熱量 W m -3 , d: 厚度 m, ω: 角頻率 (= 2πf) / 秒-1 )
由于實(shí)數(shù)解（同相幅度）包含薄膜的信息，因此在相同條件下在不同頻率下進(jìn)行測(cè)量時(shí)，同相幅度與（2ω）-0.5成正比。
薄膜的熱導(dǎo)率λ 1由下式獲得。
（M：斜率，n：截距）
TCN-2ω示意圖
TCN-2ω對(duì)SiO 2薄膜的測(cè)量結(jié)果
薄膜的評(píng)價(jià)
測(cè)量樣品
